特に定盤表面状態が重要で、平面度を崩さないようにするか、素早く元の状態に復帰させるようにしなければなりません。
この目的のためにレジンペース定盤には自動修正装置を用意しました。その他にダイヤモンド電着の修正リングも利用出来ます。
ラップ定盤を短時間に、高精度に修復する自動定盤修正装置
本機はダイヤモンドバイトによる切削加工で定盤の凹凸や円周方向に生じたウネリまで容易に修正出来、加工品の仕上がり平面度も大幅に向上し加工時間は短縮されます。
特徴
- 100μ以下の凹凸であれば1工程でラップ盤（直径Φ200～300mm）の平面度を数μ以内に修正します。
- 熟練度に関係なく、どなたにでも確実に修正出来ます。
- 修正リングでは修正出来ない円周方向のウネリも除去出来ます。
- 平面度の凹凸高低差のみの取り代で修正出来るので経済的です。
- 平面度劣化量に関係なく数分程度で確実に修正出来ます。
- 加工物の仕上がり平面度・平行度・面粗度が向上します。
- 対象定盤はメタルレジン盤だけでなく金属銅、錫盤も修正可能です。
- CMPパッドの平面出し、スパイラル溝加工も可能です。
仕様
- 定盤修正精度 ±5μ以内（90mmスパン フラットネスゲージユニット使用）
- 定盤修正用モーターAC100V 単相40W MAX1.5A
- 前進/後進自動停止リミッター
- バイト ダイヤモンドバイト
- 装置寸法（本体）W400mm×D340mm×H200mm
- コントロールユニット電源スイッチ 前進/後進/停止スイッチ 速度調整ツマミ
修正作業には欠かせない平面度の測定機
ラップ定盤の平面度をミクロンオーダーで管理し、常に高精度の研磨加工を行うにはラップ定盤の平面状況を確認しなければなりません。
フラットネスゲージは基準定盤の平面と現状のラップ定盤の平面度を比較評価するゲージです。
定盤平面度の劣化を瞬時に把握し修正リングや自動修正装置の修正作業には欠かせない測定機です。
仕様
- 最小目盛 1μダイヤルゲージ
- 基準定盤平面 ±0．5μ
- 溝付き定盤測定用 ブロックゲージ3個付き
ダイヤモンド電着修正リングで定盤の平面劣化を修正
レジン系定盤の修正方法として自動定盤修正装置以外にダイヤモンド電着修正リングによる修正方法があります。
修正リングの定盤に接する面にダイヤモンド砥粒を固着してあり、ラップ定盤の平面度が劣化した場合リングを定盤面に載せ、秒・分単位の修正時間で定盤の平面劣化を修正します。
仕様
- 寸法 Φ130×40mm 大型サイズもあります
- ダイヤモンド粒度 #140/170（#60/80）
※修正リングは摩耗します。正しく修正を行うために定期的に再生を行って下さい。
ダイヤモンド砥粒で砥粒の切れ刃を均一に
セラミック製のチャージリングは加工中に噴霧されたダイヤモンド砥粒をラップ定盤に埋込み、砥粒の切れ刃を均一にします。これらの確実に保持された砥粒はワークにダメージを与えず安定した加工を実現します
仕様
- WHC-108 外径130×内径108×高さ40mm
- WHC-101 外径130×内径101×高さ40mm
研磨試料の洗浄だけでなくセラミックチャージリングや電着リング、貼付盤の洗浄にも必要です。
装置周辺の清掃だけでなく自動修正機構の使用後切り屑の掃除にも使用します。
エアプレス試料支持ユニットや自動噴霧装置ナノディスペンサーには高圧エア（1～5気圧）が必要です。
エア源をお持ちでない方は御利用下さい。
