製品紹介

研磨機用付属装置 試料取付治具

試料の研磨を行なう場合、試料の形状、目的等により研磨機本体のほかに各種付属装置が必要になります。
最低限必要なものを選択必需品として種類の付属装置群の中から1組ずつ目的に合わせて選んで戴き研磨システムを作り上げます。

用途に応じてアイテムが変わるので、ご不明な点はお気軽にご相談ください。

セラミック貼付盤

セラミック貼付盤

Φ107mm、Φ100mm、79mm 
(自動定寸用)

金属貼付盤

金属貼付盤

ステンレス製、アルミ製
サイズ各種

埋込み試料用ホルダー

埋込み試料用ホルダー

Φ107mm、Φ100mm 
6個掛(Φ25mm)
3個掛(30mm、32.5mm、40mm)

真空チャック

真空チャック

ウエファーΦ100mm用、Φ50mm用
多孔質セラミック、溝式セラミック

ダイヤモンドストッパー

ダイヤモンドストッパー

付き自動定寸治具
Φ107mmセラミック貼付盤用
Φ79mmセラミック貼付盤用

特殊断面研磨治具

特殊断面研磨治具

薄板、薄片断面研磨治具
傾斜研磨治具

ワックス、ボンデイングマシン

ワックス、ボンデイングマシン

ウェファー貼付用水冷式
一軸ボンディングマシン
HWB-1AL