試料の研磨を行なう場合、試料の形状、目的等により研磨機本体のほかに各種付属装置が必要になります。
最低限必要なものを選択必需品として種類の付属装置群の中から1組ずつ目的に合わせて選んで戴き研磨システムを作り上げます。

用途に応じてアイテムが変わるので、ご不明な点はお気軽にご相談ください。

研磨機用付属装置
各種試料支持ユニット

エアプレスユニット

※別途エアコンプレッサーが必要となります

1⃣強制駆動式ユニット FAR-200
研磨時治具の自転は仕上がりの均一化に大きく影響するので外部から強制的に治具の自転をさせる。(回転速度可変、回転方向選択可能)

2⃣強制駆動・揺動式ユニット FAOR-300
治具の強制回転と同時に定盤面に対して平行に揺動させ、仕上がり面の均一化と定盤の平面劣化を抑えます。

3⃣強制駆動式ユニット FAR-300D(デジタル表示)
コントロールボックスの圧力計と試料回転数がデジタル表示仕様

FAR-200
FAR-200

ローラーガイドリングユニット

1⃣ローラーガイドリングユニット FRG-200
セラミックチャージリングと併用して治具類の自転を補助します。
荷重はウエイトによります。

2⃣強制駆動式ローラーガイドリングユニット FRGR-200
仕上がりの均一化を図るため外部から強制的に治具類の自転を援助させるために使用します。(回転速度調整可能)

3⃣2連式強制駆動・揺動ユニット FRGOR-300(NF300のみ)
強制駆動・揺動式ローラーガイドリングユニット(FRGOR-200)
2組を同時に使用する際に生じるユニット同士のぶつかりを防ぎます。

4⃣3連式強制駆動ユニット FRGORT-300(NF300のみ)

ローラーガイドリングユニット
FRGOR-300

研磨機用付属装置
ナノディスク定盤

 

研磨加工で最も重要な事はラップ定盤の選択です

弊社では使用砥粒レンジに合わせて各種定盤を取り揃えており、
被削物の物性に応じた加工工程の中で、最適な加工状況を作り、安定した鏡面加工を実現します。
また、メタルレジン系の定盤はダイヤモンドリング(D-RING)の使用により定盤の平面劣化の修正はある程度は可能ですが、
更に短時間に高精度に修正するには自動定盤修正装置をご利用いただければ、研磨加工の経験のない方でも高精度の研磨加工が可能です。

ナノディスク定盤(メタルレジン系)

名称 物性 適正ダイヤ粒度 用途
ND-Fe レジン+鉄 9・15・30・45μ 最も硬質で研磨性が高い。セラミックや金属等の粗研磨用
ND-Cu レジン+銅 2・3・6μ 脆い材質の粗研磨。金属中仕上げやセラミックス仕上げ加工用
ND-Sn/H レジン+錫(H) 3μ以下 金属のポリッシング加工前の仕上げラップ。鏡面加工用
ND-Sn/S レジン+錫(S) 1μ以下 脆い結晶材料などの仕上げ加工用。軟質でダメージも少ない
ND-CERAMIC レジン+セラミック 1/10~6μ 金属元素のコンタミ防止。ポーラスセラミックの加工に最適

特徴

1.ナノディスクは、その柔軟な特性からダイヤモンド砥粒を正確に国定砥粒化し、加工上のダメージが極めて小さいのが特徴です。
2.定盤の平面度修復は、自動修正装置と電着リングの使用によりいたって簡単に修正できます。
3.加工材料として複合材料の研磨量の差異から生じる研磨段差が少なく、シャープエッジの加工が出来ます。
4.材料内の介在物などを破損させない加工が出来ます。
5.試料の加工変質層を抑え、しかも能率のよい微細加工が出来ます。
6.あらゆる素材に対応でき従来の研磨盤と比較すれば、応用範囲が広い画期的なラップ定盤です。
メタルレジン定盤は通常大きい試料(φ3mm以上)の場合はスパイラル状の溝を付けて使用します。
また、金属アルミ盤かステンレス盤で裏打ちします。

ナノディスク金属定盤

名称 物性 適正ダイヤ粒度 用途
ND-Pro1 特殊合金 1μ以下 面ダレの防止。形状精度に優れた鏡面加工が可能
ND-Pro2 特殊合金 1μ以下 鏡面性が良く複合材料の研磨段差を防止
ND-Pro3 特殊合金 1μ以下 加工性が良く複合材料の段差も防止
特徴

従来からラッピング定盤として利用されている鋳物定盤、高精度仕上げ用の銅、錫、更に特殊合金材の定盤もご用意しております。
この純金属材定盤でも自動定盤修正装置を御利用出来高精度の仕上げが可能です。
ステンレス盤、アルミ盤はクロス、パッドのベース盤に使用します。

ナノディスクダイヤモンド定盤

名称 物性 適正ダイヤ粒度 用途
ND-SDB 予備研磨用定盤(#200~#800) ラップ加工前の粗研磨用、レジンダイヤ定盤

 

粗研磨用定盤としてダイヤモンド研磨盤もあります。レジンボンド系と電着系で粒度は#180から#1000まで各種用意できます。

ナノディスク貼付定盤(SUS製、アルミ製)

名称 物性 用途
ND-SDB ポリッシングクロス貼付盤 耐蝕性に優れたSUS製と軽量化のアルミ製があります

 

耐水研磨紙(工メリーペーパー)、ダイヤモンドシート、アルミナシート等も御利用いただけます。

研磨機用付属装置
試料取付治具

 

用途に応じてアイテムが変わるので、ご不明な点はお気軽にご相談ください。

セラミック貼付盤

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セラミック貼付盤
Φ107mm、Φ79mm
(自動定寸用)

金属貼付盤

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金属貼付盤
ステンレス製、アルミ製
サイズ各種

埋込み試料用ホルダー

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埋込み試料用ホルダー
Φ107mm、Φ100mm
6個掛(Φ25mm)
3個掛
(30mm、32.5mm、40mm)

真空チャック

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真空チャック
ウエファー
Φ100mm用、Φ50mm用
多孔質セラミック、
溝式セラミック

ダイヤモンドストッパー付き自動定寸治具

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ダイヤモンドストッパー
Φ107mmセラミック貼付盤用
Φ79mmセラミック貼付盤用

特殊断面研磨治具

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特殊断面研磨治具
薄板、薄片断面研磨治具
傾斜研磨治具

ワックス固定用ボンデイングマシン

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ワックス固定用ボンデイングマシン
ウェファー貼付用水冷式
一軸ボンディングマシン HWB-1AL

研磨機用付属装置
自動化装置

 

研磨作業を能率良く行うにはタイマー連動による自動研磨で
研磨剤の自動供給により無人作業が可能です。
ダイヤモンドスラリーを利用する場合は噴霧装置を使用します。
この場合はエアコンプレッサーが必要になります。
またスラリー瓶に直接取り付けて噴霧供給するためスプレーノズルが必要になります。
使用ダイヤモンド粒度毎に1本ずつ用意していただくことをお勧めします。

スラリー自動噴霧装置 ナノディスペンサー NDS1

スラリー瓶に取付けられたスプレーノズルに、デジタルタイマーによる砥粒供給時間及びインターバル時間で外部から供給されたエア(1~5気圧程度)をレギュレーターで1~3気圧に調整して噴霧します。

 

仕様
タイマー 噴霧時間 インターバル設定 最小時間(秒)
セレクター 自動 手動 切替スイッチ
入力エア圧 1~5気圧
入力電源 AC100V単相1A
サイズ W270×D220×H75mm
重量 1.5kg
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スラリー自動攪拌装置 ナノスターラー NS-2

スラリー使用の際、砥粒の沈殿による供給ムラを防ぐため、常時攪拌する必要があります。
スラリー瓶内に予め攪拌子を入れ本機の回転磁力で攪拌を行います。
攪拌子は御使用の粒度毎に1個ずつご用意下さい。

 

仕様
回転数 100~1000rpm
入力電源 AC100V単相1A
サイズ W120×D120×H170mm
重量 1kg
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スラリー自動滴下装置  ナノドリップポンプNRP-1、NRP-2(撹拌機付き)

アルミナ液やCMPリキッドの供給を正確に供給するドリップポンプです。
ラッピングマシン本体のタイマー制御により自動運転も可能です。

 

仕様
ポンプ回転数 最高50rpmモーターDC12V
シリコンチューブ Φ2×4mm
流量 0.7~7ml/分
入力電源 AC100V単相1A
サイズ W270×D220×H75mm
重量 1.5kg
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